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[其他]自制扫描电子显微镜系列第一章 - 真空系统 [复制链接]

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离线liukai163
 

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只看楼主 倒序阅读 我要置顶 楼主  发表于: 2018-12-08
— 本帖被 青柠 设置为精华,作者+3000M币+5专家(2018-12-12) —
许久没发帖了,酝酿了这么长时间忽然就想搞个大新闻——自己做个扫描电子显微镜

扫描电子显显微镜(SEM)——scanning electron microscope
顾名思义使用电子作为成像/扫描介质的特殊显微镜,此种显微镜使用连续的电子束扫描靶向工件经特殊成像系统处理得到相应的被扫描物体表面成像结构(以上内容来自于个人概括,如有错误请具体参阅百度词条有关SEM内容部分)
此种显微镜克服了普通透射式光学显微镜所有的光学分辨率极限带来的放大倍数约束,可以实现极高分辨率下高倍数放大
此种显微镜因工作介质为电子束,故而需要高真空环境为依托来提供电子束所聚焦偏转放大所依赖的真空环境、
通常而言低倍数SEM操作气压为1e-4Torr,此贴内容也主要讲述真空系统基本构成及初步真空度达成条件。


首先本章     万恶之源——涡轮分子泵

SEM计划其实从三年前就开始筹备但是因为一直没有合适的契机所以拖到现在才开始实施,一切都要归功于某葫芦同志在9月初某日中午的一项意外发现开始@kreina  ,这家伙跟我说看到某坛在出售一个德国普发分子泵  看似结构良好且价格合适故而果断拿下
涡轮分子泵--------一种高效高真空系统中常见的高真空级应用真空泵依靠前级机械泵来组成双级真空系统从而达到极高真空度
分子泵到手第一印象 ——饱经沧桑 型号为TPH110   查阅资料后得知为德国早期型号性能不得保证






随后展开脑洞开始构建真空系统结构图(当然此真空系统结构在日后也被全盘否定)


泵到手第一件事自然是拆机看看轴承是否完好
(分子泵依靠涡轮结构在真空中高速旋转得到更高程度的真空故而轴承是整个泵的重中之重)


拆开油底壳后轴承、油箱内的结构
不得不说德国佬做东西是NB   几万转每分钟的东西就用普通金属机械轴承做了...................



装机     用自己猜测出的驱动线序来驱动试下
可见泵转动平稳丝滑状态良好,开始采购真空系统连接件(各种法兰之类的东西)


耐心等待之后一部分配件到手
先组装测试一下系统气密性


楼下继续
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关键词: 显微镜
离线liukai163

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